毕竟
炉
还
烧
小
,
也



里
等
小
,


便迅速前往了抛光过程
抛光机旁。
就
样,随
间
过
,第一批硅晶圆
来了,


便迅速将
批硅晶圆拿
了激光
涉仪


测量确定其表面
度。
显然,林晓

计算思路,仅存

脑海
,其


逆推
来,
数学、化学、
理方面都得有
一半
。
没
林教授
2nm就2nm,一
都没有
湖!



林晓
赫赫声
,

听起来都让

有些
思议
东西,都被林晓所完成,控制一
电弧炉
磁场
……


,林晓
声音提
了
场

。



过程
,


质所占
例就
一
关键
题了。
优秀

,
抛光效
来
也有
较
提升。
众
都回过了
,意识

事
。
没过
久,结
就
来了。
一次

了
抛光盘加成
,

抛光
度达
了4nm
程度,
一次,
又有了
抛光
,
据林晓
,
够让

抛光
度提升
2nm
程度。
通过电弧炉

磁场来加快
化学反应速率……



球
现



程度吗?


一
,

越发振奋起来。
“
了,
还得等
小
,先

抛光吧。”
此,
经
期待了。
“表面平均
度都达
了2nm
程度!还有

达
了1nm!”
也没有久等,因为
前存了一些未抛光
硅晶圆,所
次


将
些未抛光
硅晶圆放


实验。
罗
脸
也
了振奋

。
林晓从系统
里得

抛光

成
及
例,无疑就属
一

优秀
例,此外,
和磨盘材料也
搭
,
搭
,

抛光效率,完全
达
一
极
程度。
旁
卢章却因为林晓刚才
确
震惊了。
罗

抛光机,
一次来
里还
一次。
卢章
了
旁
余建成,忽然





辞职,
林晓
底
学习学习,虽然
都

岁了,
林晓
了

岁,
过达者为师嘛,
且
林晓

级科学家
底
学习,也
丢
。
样
成
也
得
减
。
测量
员将
振奋

消息宣布了
来,顿
间
产线车间
许
都
呼了起来。
CMP抛光,

化学机械抛光,顾
思义,既有化学抛光,也有机械抛光,其
化学抛光就
由抛光
负责。
且还得专业
。
似乎听起来也





?
此林晓
予置评,

谦虚一
。




,
世界
有没有嘛……
氢氧化钠
成
够通过
晶圆
表面
平

反应,
使其表面更加平坦,
硅粉就
够


,继续将

平

逐渐消磨。

过
了


家
,还有

都贷款买
房
,
还
放弃了

法。
随
机
运转,抛光机

式抛光
程
次运作起来,
也


有

溢
,
些
就



型抛光
,
抛光
由硅粉和氢氧化钠组成,其
还有一些其
占
小
质,
过也
抛光过程

理。
样一来,有了

型
抛光
,

抛光盘
使用寿
也
够得
提升!
并且
一
电弧炉构建
蜂巢型结构
有一
,

电弧炉
复制,除非
够
据林晓
计算思路
来一遍,显然
搞
来
,
样
结


浪费力
。
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